RHH serija RF napajanje

Kratki opis:

RF napajanje serije RHH oslanja se na zrelu tehnologiju RF generacije kako bi kupcima pružilo RF napajanje s većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. S mogućnošću podešavanja faze, upravljanja impulsima, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, industrija poluvodiča, kemijska industrija, laboratorij, znanstvena istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazmom pojačano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma jetkanje, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Pošaljite nam e-poštu

Značajke

● Izvedbe za montažu u poluciglu i u rack
● Usvojite potpuno digitalno upravljanje s praktičnim i bogatim izbornikom za upravljanje
● Funkcije podešavanja frekvencije, pulsa i sinkronizacije pulsa
● S funkcijom CEX fazne sinkronizacije
● Savršena zaštitna funkcija

Detalji proizvoda

Ulazni	Ulazni napon: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (posebne specifikacije mogu se prilagoditi)
Ulazni	Ulazna frekvencija: 47~63Hz
Izlaz	Izlazna frekvencija: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Raspon podešavanja: ±5%
	Izlazna snaga: 1,5~5 kW
	Raspon regulacije izlazne snage: 1~100%
	Izlazna impedancija: 50Ω+j0
	Izlazno sučelje: tip N
	Izlazni način: kontinuirani, pulsni
	Frekvencija impulsa: 100Hz~100kHz
	Radni ciklus: 5~95%
Indeks performansi	Faktor snage: 0,98
	Točnost stabilnosti frekvencije: ±0,005%
	Učinkovitost: 75% (pri nazivnoj snazi)
	Harmonik: <-45dBc
	Lutanje: <-50dBc
	Vanjsko upravljačko sučelje: analogna količina, komunikacija i sinkronizacija
	Način komunikacije: Standardno komunikacijsko sučelje RS485; Opcionalno Ether CAT, industrijski Ethernet itd.
Napomena: proizvod se neprestano razvija, a performanse se i dalje poboljšavaju. Ovaj opis parametra služi samo kao referenca.