Napajanje za raspršivanje
-
MSB serija srednjefrekventnog napajanja za raspršivanje
RF napajanje serije RHH oslanja se na zrelu tehnologiju RF generacije kako bi kupcima pružilo RF napajanje s većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. S mogućnošću podešavanja faze, upravljanja impulsima, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, industrija poluvodiča, kemijska industrija, laboratorij, znanstvena istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazmom pojačano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma jetkanje, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.
-
Napajanje za raspršivanje serije MSD
MSD serija DC napajanja za raspršivanje koristi temeljni DC upravljački sustav tvrtke u kombinaciji s izvrsnom shemom obrade luka, tako da proizvod ima vrlo stabilne performanse, visoku pouzdanost proizvoda, mala oštećenja luka i dobru ponovljivost procesa. Koristi kinesko i englesko sučelje zaslona, jednostavno za korištenje.