MSB serija srednjefrekventnog raspršenog napajanja

Kratki opis:

RF napajanje serije RHH oslanja se na zrelu tehnologiju RF generiranja kako bi kupcima pružilo RF napajanje veće snage, veće preciznosti i brzog odziva.Uz mogućnost podešavanja faze, kontrolu pulsa, digitalno ugađanje i druge funkcije.Primjenjiva polja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, industrija poluvodiča, kemijska industrija, laboratorij, znanstveno istraživanje, proizvodnja itd.

Primjenjivi procesi: plazma poboljšano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma jetkanje, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacijsko raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Pošaljite nam e-poštu

Značajke

● Pola-cigle i stilovi montaže na stalak

● Usvojite potpunu digitalnu kontrolu, s praktičnim i bogatim radnim izbornikom

● Funkcije podešavanja frekvencije, pulsa i sinkronizacije pulsa

● S CEX faznom sinkronizacijom

● Savršena funkcija zaštite

Pojedinosti o proizvodu

Ulazni	Ulazni napon: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Posebne specifikacije mogu se prilagoditi)
Ulazni	Ulazna frekvencija: 47~63Hz
Izlaz	Izlazna frekvencija: 13,56MHz、27,12MHz、40,68MHz
	Raspon ugađanja: ±5%
	Izlazna snaga: 1,5~5kW
	Raspon regulacije izlazne snage: 1~100%
	Izlazna impedancija: 50Ω+j0
	Izlazno sučelje: tip N
	Način izlaza: kontinuirani, pulsni
	Frekvencija pulsa: 100Hz~100kHz
	Radni ciklus: 5~95%
Indeks izvedbe	Faktor snage: 0,98
	Točnost stabilnosti frekvencije: ±0,005%
	Učinkovitost: 75% (pri nazivnom učinku)
	Harmonijski: <-45dBc
	Zalutali: <-50dBc
	Vanjsko upravljačko sučelje: analogna veličina, komunikacija i sinkronizacija
	Način komunikacije: Standardno RS485 komunikacijsko sučelje;Dodatni Ether CAT, industrijski Ethernet, itd.
Napomena: proizvod nastavlja s inovacijama i izvedba se nastavlja poboljšavati.Ovaj opis parametra služi samo kao referenca.