MSB serija srednjefrekventnog raspršenog napajanja
-
MSB serija srednjefrekventnog raspršenog napajanja
RF napajanje serije RHH oslanja se na zrelu tehnologiju RF generiranja kako bi kupcima pružilo RF napajanje veće snage, veće preciznosti i brzog odziva.Uz mogućnost postavljanja faze, kontrolu pulsa, digitalno ugađanje i druge funkcije.Primjenjiva polja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, industrija poluvodiča, kemijska industrija, laboratorij, znanstveno istraživanje, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazma poboljšano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma nagrizanje, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacijsko raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.