Mikrovalna snaga
-
Mikrovalno napajanje
Mikrovalno preklopno napajanje je nova vrsta mikrovalnog napajanja temeljeno na IGBT tehnologiji visokofrekventnog pretvarača. Integrira visokonaponsko napajanje anode, napajanje niti i napajanje magnetskog polja (osim mikrovalnog napajanja od 3kW). Valni magnetron osigurava radne uvjete. Ovaj proizvod se koristi u MPCVD, jetkanju mikrovalnom plazmom, degumiranju mikrovalnom plazmom i drugim poljima.