Depozit
Steknite uvide i ubrzajte proces razvoja.
Advanced Energy nudi rješenja za napajanje i upravljanje za kritične primjene taloženja tankih filmova i geometrije uređaja. Kako bismo riješili izazove obrade pločica, naša rješenja za preciznu pretvorbu energije omogućuju vam optimizaciju točnosti snage, preciznosti, brzine i ponovljivosti procesa.
Nudimo širok raspon RF frekvencija, istosmjernih sustava napajanja, prilagođenih razina izlazne snage, tehnologija usklađivanja i rješenja za praćenje temperature optičkim vlaknima koja vam doista omogućuju bolju kontrolu procesne plazme. Također integriramo Fast DAQ™ i naš paket za prikupljanje i pristup podacima kako bismo pružili uvid u proces i ubrzali proces razvoja.
Saznajte više o našim procesima proizvodnje poluvodiča kako biste pronašli rješenje koje odgovara vašim potrebama.
Vaš izazov
Od filmova koji se koriste za oblikovanje dimenzija integriranih krugova do vodljivih i izolacijskih filmova (električne strukture) i metalnih filmova (međusobno povezivanje), vaši procesi nanošenja zahtijevaju kontrolu na atomskoj razini - ne samo za svaku značajku već i za cijelu pločicu.
Osim same strukture, vaši deponirani filmovi moraju biti visoke kvalitete. Moraju imati željenu strukturu zrna, ujednačenost i konformnu debljinu te biti bez šupljina - a to je uz osiguravanje potrebnih mehaničkih naprezanja (tlačnih i vlačnih) i električnih svojstava.
Složenost se samo nastavlja povećavati. Kako bi se riješila ograničenja litografije (čvorovi ispod 1X nm), tehnike samoporavnavanja dvostrukog i četverostrukog uzorkovanja zahtijevaju da vaš proces nanošenja proizvede i reproducira uzorak na svakoj pločici.
Naše rješenje
Kada implementirate najkritičnije aplikacije za taloženje i geometrije uređaja, potreban vam je pouzdan lider na tržištu.
Tehnologija isporuke RF snage i usklađivanja velike brzine tvrtke Advanced Energy omogućuju vam prilagodbu i optimizaciju točnosti snage, preciznosti, brzine i ponovljivosti procesa potrebnih za sve napredne PECVD i PEALD procese taloženja.
Iskoristite našu tehnologiju DC generatora za fino podešavanje vašeg konfiguribilnog odziva luka, točnosti snage, brzine i ponovljivosti procesa potrebnih za PVD (raspršivanje) i ECD procese nanošenja.
Prednosti
● Povećana stabilnost plazme i ponovljivost procesa povećavaju prinos
● Precizna RF i DC isporuka s potpunom digitalnom kontrolom pomaže u optimizaciji učinkovitosti procesa
● Brzi odziv na promjene plazme i upravljanje lukom
● Višerazinsko pulsiranje s adaptivnim podešavanjem frekvencije poboljšava selektivnost brzine jetkanja
● Globalna podrška dostupna je kako bi se osiguralo maksimalno vrijeme rada i performanse proizvoda